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特點(diǎn):
1. 雙臂固晶,角度可調(diào),可選配點(diǎn)膠功能;
2. 載具下沉式設(shè)計(jì),可全程帶載具工藝實(shí)現(xiàn);
3. 采用大理石機(jī)臺(tái)具有更高的穩(wěn)定性;
4. 采用直線(xiàn)電機(jī)模組具有更高的耐用性;
5. 具備真空漏晶檢測(cè)和吸嘴防堵設(shè)計(jì);
6. 真空固晶平臺(tái)和表面平整度修正設(shè)計(jì);
7. 并聯(lián)式連線(xiàn),實(shí)現(xiàn)后進(jìn)后出自動(dòng)上下板;
8. 取晶平臺(tái)可選配晶圓環(huán)自動(dòng)校正;
9. 自研軟件運(yùn)控平臺(tái),設(shè)備智能化操作;
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